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多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于**高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC真空泵维修一般流程：

试机---确定问题点---拆泵---报价---维修及更换零件---调试安装---试机---客户验收

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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除：(1)不可以在前面泵工作中时（前面管路接入）和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用，不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。