爱发科真空泵清洁保养-南沙区爱发科真空泵-潽拓光电

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涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

典型的涡轮分子泵抽气系统 ，抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道，这种系统和常用的扩散泵抽气系统类似，爱发科真空泵维修及保养，其粗抽管道和前级管道的基本配置与扩散泵不同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速，以便在很大排气量时前级压力能低于临界前级压力，在涡轮分子泵抽气系统中，爱发科真空泵保养费用，要选择具有足够容量的前级泵，使很靠近前级管道的叶片在很大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。

大多数涡轮分子泵的很大稳态进气口压力P1在0.5~1Pa之间，而很大前级压力P2约为30Pa。因为排气量为一常数，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之S1/S2比应该在30到60的范围内，对于很大的对氢压缩比小于500的泵来说，其级配比应该为20：1。1-涡轮分子泵；2-液氮冷阱；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-粗抽阀；7-机械泵；8-前级管路阀；9-高真空阀。

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我国是世界很大的半导体消费市场，爱发科真空泵清洁保养，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，公司积极响应国家需求，承担科技部《较大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。

公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，以其的性能，已广泛应用于工业过程、镀膜等领域，为半导体零部件国产化注入新活力。未来，公司将继续聚焦半导体产业发展需求，全力突破“卡脖子”技术难题，推动半导体设备零部件国产化，为中国集成电路发展持续贡献力量。

现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，南沙区爱发科真空泵，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，**蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.

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分子泵常见的故障问题：

1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么会发黑？或者多长时间油才会变黑？

3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

4、分子泵轴承为什么会烧毁

5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？

8、分子泵中经常掉出**丝、镙钉等物体，如M5的**丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，怎么使用才安全？

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

12、分子泵是否对冷却有明确要求？如果风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现什么后果？

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是很佳方式？

14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

15、分子泵叶片破碎的原因？    

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