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当时现行标准的分子泵不能直接用到圆排机上,因为圆排机的工况,工作过程中灯管不可避免地会产生漏气和破损而产生的压力高、大气流的冲击和碎屑等的情况。鉴于此,由公司专项研制高压强分子泵,由上海涌真机械有限公司实施圆排车制造替换谱拓泵,把公司研制的分子泵应用在上海正贝照明制造的圆排车上,进行的替代设计制造。
此后,公司成功研制出FF-160/500G分子泵,其技术参数详见表1。表1 FF-160/500G复合分子泵技术参数替换方案此前圆排机上的两套分别为:一台ZJP150谱拓泵和TRP-16一台真空泵和凯尼ZJ150谱拓泵和爱发科VD401真空泵的谱拓真空组。左:普通分子泵;右:高压强分子泵替换方案为:一套由一台KYKY公司的FF160/500G分子泵,前级为北仪优成的TRP-60或TRP-48真空泵,过渡真空室、接管、真空测量系统组成的机组(简称分子泵机组)。
现一台分子泵机组拖7工位,可增至10个工位。原两台拖7工位。表2 工作监控情况及对比数据表实际效果对比分析分子泵机组比抽气速率大,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。在运转费用方面,按一年280天计算,每天24h,全年就是6720h。单位:元
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在正常工作时,可把水温调节到略**来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
启动系统要先接通冷却水流,打开前级管道阀门,再同时启动机械泵和涡轮分子泵。在泵加速到额定转速(一般为5到10min)后,就可加注液氮冷阱。此后就可按上节所介绍的步骤对真空室进行抽气。所给出的不用高真空阀门的抽气系统的操作,要比有阀门的抽气系统简便得多。操作时,先打开冷却水和前级管道阀,并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当,使真空室的粗抽时间等于加速时间,那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
1-检漏接口阀;2-涡轮分子泵;3-放气阀;4-电离规;5-热传导规;6-真空管路阀;7-电磁放气阀;8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统无阀门系统在放气和停机时,首先关闭前级管道阀,等泵转速下降到很大转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门,否则会造成真空室过压。然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。
没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作:先打开分子泵冷却系统和前级管路阀,并同时启动前级(粗抽)机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵(前级泵)选择得当,使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速(启动)时间,则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168次测量得到的平均噪音为41dB(A)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
无论从科技或是经济发展的角度来看,爱发科分子泵UTM-330保养,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在半导体行业有着广泛的应用。其中,分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一,广泛应用于IC生产制造的各个工艺。
下面小编就带您走进半导体产业链,并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业,中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备,其中真空产品主要在半导体设备领域应用;中游半导体制造的是集成电路制造,包括IC设计、IC制造以及IC封测;下游的半导体应用领域众多,半导体应用领域的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/。
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