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分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，大阪涡轮分子泵维修与保养，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，大阪涡轮分子泵TG550维修，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。