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广州潽拓光电科技有限公司——Edwards真空泵返油处理
岛津集团的总公司日本岛津制作所自1875年创业以来,始终继承创始人岛津源藏的创业宗旨“以科学技术向社会做贡献”,并以此为公司宗旨,不断钻研满足社会需求的科学技术,为社会开发生产具有高附加值的产品。
日本岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,*使用油润滑,在运转过程当中,Edwards真空泵返油处理,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵
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岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
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潽拓——Edwards真空泵返油处理,分子泵
磁悬浮SHIMADZU TMP 2001-lme 涡轮分子泵
岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,*使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵。
岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,*使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵。