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广州潽拓光电——维修德国普发PFEIFFER THM261分子泵
分子泵的清洗:
一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在固定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其他的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵已经有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:
1.关掉分子泵,进口普发分子泵TPH521,进行排气
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个合适的容器中
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