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涡轮分子泵 HiPace 1500 对各种气体的具有高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
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Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列,普发真空分子泵保养服务,采用复合轴承设计,内部主要由陶瓷球轴承,转子轴,安全轴承和磁性轴承组成,正常运行3-4年建议做一次标准保养