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分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,揭阳安捷伦,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业*发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,安捷伦分子泵厂家,以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
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从上世纪60年代上市以来,安捷伦(即原瓦里安,安捷伦分子泵变频器,下同)扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时,会用安捷伦的型号,也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦,要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。
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安捷伦分子泵的特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦Turbo-V 551,安捷伦对外发布的各项参数和曲线。
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广州潽拓Agilent安捷伦 TV401301涡轮分子泵维修
varian Turbo-V 301/401 Navigator 分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的泵。
Agilent TV301分子泵有四种规格,分别为:
Agilent TV 301 ISO100-K
Agilent TV301 ISO160-KAgilent TV301 Cf100
Agilent Varian TV301 CF160