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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容,伺服电极位于感压薄膜下方,通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置,从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时,要使感压薄膜处于平衡状态,inficon检漏仪技术服务,则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等,
静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时,inficon检漏仪升级改造,薄膜上所受的静电力Fe为:式中:ε0为真空腔室的介电常数;d是伺服电极与薄膜间的距离。由式(2)、式(3)得伺服电压与压力p的关系为:如图10所示,静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中,微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号,而静电力控制回路用来产生伺服电压。
图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性,静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。
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.inficon真空计的特性?答:inficon真空计是一种肯定真空计,可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强,不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理?根据哪些量的测量来体现导热的转变?
答:导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变,进而体现导热的转变,用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计,又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变,称之为热偶真空计。
危害导热真空计测量低值的原因是什么?答:热丝的发热量除开汽体热传导外,还能够顺着热丝自身向两边热传导,白云区inficon检漏仪,即固态热传导;还能够以扩散的方法热传导,这二种换热方法与工作压力不相干,当工作压力较低,汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时,就不可以体现工作压力的变动了,即做到了测量的低值。
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为了校准装置的后续发展,具备更多功能,要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式,方便后续产品组合,拓展新的功能,如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难,大胆创新,目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理,具备体积小、易携带,不受环境、空间等因素影响,随时随地都可进行校准使用,
同时还具备拓展功能接口,便于拓展漏孔校准、检漏等功能,解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题,实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方?便携式真空计校准装置自研制代至今,近几年来,产品得到国内外30多家单位的应用。
“小尺子”发挥着“大作用”,在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大**型号任务的研制试验及发射中得到了较大应用;在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用;同时,在航空发动机、火箭、等的试验与生产,特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。
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