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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵返油处理 涡轮分子泵维修中心
水环式喷气式飞机机械泵组的特性是能够 提升水环式泵的限工作压力和泵效。液环泵。由于单独二级水环泵的限工作压力为2001080a-4001080a,因此 当工作压力高过4000Pa时,泵效一般不稳定,伴随着人口压力的减少,泵效会慢慢趋向零。水环式喷气式飞机泵不但具备较低的限工作压力,并且在工作压力较低时也具备较高的泵效。涡轮分子泵维修中心
电缆线安裝常见问题
①、对正槽孔插进
②、用螺帽扭紧,边插边拧
③、查验及时。涡轮分子泵维修中心
在真空泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后,当真空泵入口处压力低于给定值(泵允许启动压力)时,压力敏感元件发出信号,经电气控制系统开启真空泵(如真空系统中装有真空泵旁通管路,则同时关闭旁通管路阀门)。若泵入口压力**规定值时,则自动关闭真空泵(或同时打开泵旁通管路阀门),从而保证了真空泵的可靠运转。
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵返油处理 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体*冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵返油处理Alcatel ATH1300M维修
Alcatel ATH1300M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1300MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN250ISO-K/DN250CF,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1350 L/s,极限压力6.10-6 mTorr/8.10-9 mbar
真空泵易漏气的部位有:焊缝起焊及收焊部位,两条焊缝交叉点,波纹管焊接部位,管接头焊缝,受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处,如果安装前仔细清洗,Alcatel分子泵返油处理,装配合理,这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处,如引出电极、规管的高压引线,管脚,管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。Alcatel ATH1300M维修
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。Alcatel ATH1300M维修
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