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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转,那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比,足以阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速,
其很好的安装位置是在高真空阀的后面,也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管,把涡轮分子泵接在它的一个接口上,而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速,很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。
涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去,而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。
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在高真空抽气过程的起始阶段,泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水,然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显,因为它可能比未暴露在压力**150Pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时,爱发科分子泵维修固件升级,先关闭高真空阀,二手爱发科分子泵维修,如果有液氮冷阱的话,还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后,关掉前级管道阀,再切断涡轮分子泵电动机的电源,使分子泵的转子减速。
一般来说,泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间,来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会*地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流,在切断涡轮分子泵电动机的电源后,要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。
例如,应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时,在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气,直到泵内压力达到大气压。通过从阀门3(见图1)充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时,不应经常充入压力为大气压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后,即可关掉机械泵系统,并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时,可把水温调节到略**来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
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真空近年来陆续发布了多个型号的TwisTorr分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了**高真空。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,天河区爱发科分子泵维修,真空又发布了谱拓系列分子泵。该系列包含305FSQ、305-ICQ,以及两个带有中间抽气口的型号305SF和305-ICSF。305FSQ和305SF通过独立的控制器供电和控制,而305-ICQ和305-ICSF具有集成于泵身的控制器,只需要为其提供24V电源即可工作。
很高450sccm的氮气流量
305FSQ和305SF可以处理很大450sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/氦气流量,在同等抽速和功率的产品中,是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的305-ICQ和305-ICSF也可以处理很大380sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/氦气流量,可以应对绝大多数的仪器应用。
改进的转子结构
谱拓系列分子泵拥有的转子结构:比其他305分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他305分子泵不同的牵引级。牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题,可以承受持续的大气体流量,并可将前级耐压提高至16mbar。
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