广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,英国爱德华分子泵维修地址,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队。
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nEXT涡轮分子泵概述真空技术的*****Edwards 推出了nEXT 涡轮分子泵。nEXT 汲取成熟、可靠的EXT 和STP 系列(**过200,000 台在实际运行)累积的十年经验,为科学涡轮泵树立了新的成员。
nEXT 平台实现高度的模块化,为满足客户应用和需求提供了**的灵活性。每台泵都提供两种不同的内部配置,以实现不同的性能:
此泵是一种双工(D) 选配型,具有涡轮分子级和牵引级以提高对较高的前级管线的耐受性。
特性与优势· **的转子设计提高了性能,可以实现**的抽速和压缩比
· *终用户可以在较短的时间内完成彻底的维修,*复杂的工具或大卸...您就可以完成!
· 设计紧凑,性能**,可以实现高效系统化
· 与 Edwards TIC 涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器
· 符合 RoHS 并获得 CSA/UL 认可
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广州潽拓光电——出售Edwards-8爱德华抽真空泵
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内*用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
(2)泵的传动方式
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。
这种传动方式的zui大缺点是:
a.主动轴上有三个轴承,英国爱德华分子泵轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便;
b.整体结构不匀称,泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧
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气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于**高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
分子泵清洗的方法如下:
1.关掉分子泵,进行排气。
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。